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石墨烯系統(tǒng)

更新時(shí)間: 2024-08-27

訪問次數(shù): 6234

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 公司主營快速退火爐 馬佛爐管式電阻爐/熱處理電阻爐/高溫箱式電阻爐中環(huán)電阻爐/干燥箱/恒溫干燥箱/鼓風(fēng)干燥箱/電熱鼓風(fēng)干燥箱/真空干燥箱/遠(yuǎn)紅外干燥箱/濕熱實(shí)驗(yàn)箱/高溫電熱鼓風(fēng)干燥箱/大型電熱鼓風(fēng)干燥箱/水箱/電熱水箱/恒溫水箱/電熱恒溫水箱/萬用電爐/封閉萬用電爐/封閉電爐/CVD爐/cvd電爐/rtp爐/快速退火爐/立式電爐/管爐/石磨希電爐/RTP/快速激活爐/粉體電爐/快速熱氧化爐

詳細(xì)資料:

1 石墨烯系統(tǒng)兼容、常壓、微正壓多種主流的生長(zhǎng)模式
2 石墨烯系統(tǒng)可以在1000Pa-0.1Pa之間任意氣壓下進(jìn)行石墨烯的生長(zhǎng)
3 使用計(jì)算機(jī)控制,可以設(shè)置多種生長(zhǎng)參數(shù)
4 可以制備高質(zhì)量,大面積石墨烯等碳材料,尺寸可達(dá)數(shù)厘米,研究動(dòng)力學(xué)過程
5 沉積效率高;薄膜的成分精確可控,配比范圍大;厚度范圍廣,由幾百埃至數(shù)毫米,可以實(shí)現(xiàn)厚膜沉積且能大量生產(chǎn)

產(chǎn)品性:

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成:
PECVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

產(chǎn)品特點(diǎn):

生長(zhǎng)溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡(jiǎn)單。



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